실리콘센싱은, 전용치구를 사용하여 압전막 특성을 간단하게 측정합니다. Si 및 유리기판 위에 압전박막을 형성한 웨이퍼를 제공해 주시면, 패터닝 · 캔틸레버를 제작하여 아래 그림과 같이 레이저도플러 진동계로 진동하는 캔틸레버 변위량을 측정해 드립니다. 또한, Si기판과 자사 표준 캔틸레버를 제작, 사용하시면 압전정수 d31을 산출해 드립니다. ※SSP 권장 캔틸레버 치수 관련해서는 문의 바랍니다.
*본 사이트에서는 「파운드리」「펀드리」 등 혼용을 피하기 위해, 「파운드리」로 통일하여 표기합니다.
압전막 측정 서비스
