실리콘센싱이 제공하는 파운드리 서비스 중 PZT성막과 Si 에칭가공에 대해 소개합니다.

Pt저항센서 가공 서비스

실리콘센싱은 자사의 자이로(CRM/CMS시리즈)에 사용하는 PZT막의 특성향상을 목적으로, 상하전극에 사용하는 백금막 개발에 노력해왔습니다. 최적화된 성막조건으로 얻어낸 백금막을 저항체로 사용하시는 고객께 제공하고 있습니다.