シリコンリングジャイロセンサ（ジャイロセンサー）の特長

センサ素子が、マイクロマシンによるシリコンのリングで、(図1)(図2)回りのスポーク（CRG20は中央の軸）によって空中に支えられています。(図3)リングは電磁（CRS10は静電容量）効果により励振（1次振動）され、角速度が発生するとコリオリ効果で新たな振動が発生します（2次振動）。(図4)これを検知して角速度情報を出力しているのがCRSシリーズです。
（MEMSリング方式はシリコンセンシングのみで使われている方式です。）

モーションビューを見る		シリコンジャイロの動作原理

リング形状が外部振動に強い理由を釣鐘のイメージで表現すると以下のようになります。
お寺の釣鐘は、つり撞木（しゅもく）でつくと鐘は鳴ります。（1次振動と2次振動）鐘を吊っている堂の柱をたたいて（外部振動）も釣鐘は揺れるだけで鳴りません。これが弊社のジャイロが外部振動や衝撃に強い理由です。また、この方式は温度変化によるドリフトも極小でジャイロとしての再現性に優れています。実際にXYZ方向に4.5Gで5～800Hzスイープ振動試験して共振点はありません。これは自動車震動など移動体全般での使用に向いていることを証明しています。

外部震動、温度変化などの厳しい環境下でも安定した出力を可能にしてきたCRSシリーズ。精度と信頼性を重視される数々のアプリケーションに採用を頂きました。今後、新たに広がるお客様のニーズにも十分な性能を発揮するスペックのジャイロをシリコンセンシングシステムズはラインアップしています。