シリコンセンシングシステムズジャパンのジャイロセンサ(ジャイロセンサー)をアニメーションで紹介
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シリコンリングジャイロ動作原理 ―MEMSシリコンリングジャイロ
- (1) 角速度検出体(リング振動子)を固有振動数に加振。(モード-1)
- (2) 角速度が加わると、振動モード-1に対し、コリオリのカが働き、その結果新たに振動モード-2が発生。
- (3) モード-1の不動点(ノード)がモード-2では動くのでそれをモニターすることによって、角速度を得る。
- (4) 楕円歪の振動形態は外乱要因では起こりにくいため外部衝撃・震動によるノイズが極少であり、本ジャイロは実際の使用環境での精度優位性を維持できる。
- (5) 更に、リング全体がスポークで中吊りになっており(振動が対象であることより)振動の支点も中吊りのため外部の衝撃・振動はリングに伝わりにくい。
振動モード MODE of VIBRATING