シリコンセンシングはSiウエハだけでなく、これまで、さまざまなお客様よりご要望を頂いておりました石英基板へのPZT成膜サービスを開始致しました。
仕様 | 圧電膜種 | PZT薄膜 |
PZT膜厚 | 1~2μm (標準2μm) | |
比誘電率εr | 1100 ※弊社代表値(6インチ基板) | |
圧電特性d31 | 190pm/V ※弊社代表値(6インチ基板) | |
膜応力 | 120MPa ※弊社代表値(6インチ基板) | |
ウエハサイズ | 4・5・6インチ | |
基板 | 石英基板 ※基板厚み:625um | |
処理可能プロセス | PZT成膜、下部電極成膜、上部電極成膜 |
■MEMSデバイス応用事例
RF-MEMS・マイクロレンズアレイ