Home > サービス > MEMSファンドリサービス > MEMSジャイロでの実績
シリコンセンシングは15年間の自社MEMSジャイロの生産実績(累計3000万個以上)を生かし、お客様のニーズにお応えしたMEMSファンドリサービス(受託加工)を展開しています。
フォトリソグラフィ DRIE (SR, HRM) 陽極接合 (大気)
両面アライナ スプレーコーター DRIE (Pegasus)
PZT薄膜積層装置 イオンミリング ウエハ薄化装置