シリコンセンシングが提供するファンドリサービスに生かしているMEMSジャイロでの実績についてご紹介します。

MEMSジャイロでの実績

シリコンセンシングは15年間の自社MEMSジャイロの生産実績(累計3000万個以上)を生かし、お客様のニーズにお応えしたMEMSファンドリサービス(受託加工)を展開しています。

リング型ジャイロの歴史 - 1985

More

インダクティブ (VSG3)ライン - 1999

フォトリソグラフィ  DRIE (SR, HRM)  陽極接合 (大気)

More

キャパシティブ (VSG4) ライン - 2005

両面アライナ  スプレーコーター  DRIE (Pegasus)

More

圧電PZT (VSG5) ライン - 2010

PZT薄膜積層装置  イオンミリング  ウエハ薄化装置

More

*当サイトでは「ファンドリ」「ファウンドリ」「ファンダリ」「ファウンダリ」等のあいまい表現を避けるため、表記を「ファンドリ」に統一しております。