シリコンセンシングは自社ジャイロCRM/CMS(VSG-5)にて2010年から量産実績のあるPZTの成膜およびエッチングをファンドリにて提供します。
仕様 | 圧電膜種 | PZT薄膜 |
PZT膜厚 | 1~5μm (標準3μm) | |
比誘電率εr | 900 ※弊社代表値 | |
圧電特性d31 | 220pm/V ※弊社代表値 | |
ウエハサイズ | 4・5・6インチ | |
基板 | Si基板 | |
処理可能プロセス | PZT成膜、下部電極成膜、上部電極成膜、精密パターンニング |
■センサ・MEMSデバイス応用事例
インクジェットヘッド・MEMSマイクロフォン・マイクロポンプ
ジャイロセンサ・加速度センサ・超音波センサ・RF-MEMS・圧力センサ
MEMSミラー・オートフォーカス・エネルギーハーベスタ