シリコンセンシングは高精度MEMSジャイロや加速度等の慣性センサ及びPZTスパッタ成膜やSiエッチング加工によるファンドリサービスを提供しています。

VSG(振動型ジャイロスコープ)の進化

シリコンセンシングのジャイロスコープはVSG(Vibrating Structure gyroscopes:振動型ジャイロスコープ)に分類されます。
我々のジャイロスコープはリング構造もしくはカップ構造を使ってコリオリ力を検出します。
この構造は、他のMEMSジャイロスコープの構造に比べ、非常に強固な構造にすることができるので、特に振動環境下における高精度に一役買っています。

VSG1
1985年販売開始。圧電セラミック製のカップを使い、非常に低いノイズを達成することができましたが、半面、価格の面では高価でした。
現在は生産していません。

VSG2
1995年販売開始。VSG1に対してメタルのRingを使うことでコストダウンを実現しました。
現在は生産していません。

VSG3
1998年販売開始。MEMS技術を導入し、振動体のシリコンを高い加工精度にて製造したことで、高信頼性の確保に成功しました。駆動方式は電磁誘導タイプです。
生産台数は2000万個を超え、現在もCRS03/CRS09/CRS39/CRH02/SiRRS01に使用され、生産され続けています。

VSG4
2006年量産開始。小型化を目指し、静電容量タイプを採用し、1チップ化した製品です。
新規の生産販売は終了しています。

VSG5
2010年に量産開始。さらなる小型・低ノイズ化の為、PZT技術を導入した1チップの製品です。
CRM100/200CMS300/390に使用されており、200万個以上の生産実績があります。