シリコンセンシングは高精度MEMSジャイロや加速度等の慣性センサ及びPZTスパッタ成膜やSiエッチング加工によるファンドリサービスを提供しています。

MEMS加速度センサ

加速度センサは直線的な動きを測定する為に使われます。
加速度の単位はm/s^2ですが、ここでは、1g=9.81m/s^2としてgを使っています。

すべての加速度センサには、おもり「Mass」とばね「Spring」が存在します。加速度を受けると、「Mass」は慣性力によってその位置にとどまろうとしますが、センサそのものは加速度を受けている状態ですので、「Spring」は延ばされるか、縮むかの変位を受けた状態になります。この変位は外部から加わった加速度に比例しますので、これを検出することで加速度を得ることができます。

Accel Diagram

Accel Diagram2
シリコンセンシングは高精度2軸加速度センサCASシリーズ(GEMINI)および、ジャイロと2軸加速度センサを組み合わせたコンビセンサCMSシリーズ(ORION)をラインナップしています。
いずれも、MEMSセンサ素子はDRIE(深堀イオンエッチング)技術を用いて形成されるシリコンの櫛歯電極部分と「Mass」、「Spring」で構成されており、静電容量の変化で加速度を検出します。
なお、CAS、CMSともに、1つのシリコンチップ内に2軸分のセンサ素子を形成していますので、互いの垂直度は高いものになっています。