シリコンセンシングは高精度MEMSジャイロや加速度等の慣性センサ及びPZTスパッタ成膜やSiエッチング加工によるファンドリサービスを提供しています。

開発方針

超高精度のMEMS慣性センサのロードマップ(技術と製品)について

シリコンセンシングは、新たなレベルの高精度なMEMS慣性センサ技術開発に取組んでおり、全く新しいセンサモジュールやIMUを開発しています。

光ファイバジャイロ(FOG)グレードのMEMSジャイロについて

超低ドリフト(0.03~0.30 deg/hr)なMEMSジャイロセンサヘッド「SGH03」は開発を完了し、FOGを超える高性能MEMSジャイロCRH02として2015年に製品化されました。このセンサヘッドは、今後シリコンセンシングからリリースされる「新しい高精度ジャイロやIMU製品」に適用される予定ですので、ご興味がありましたら、是非ご連絡をお願します。お客様のニーズを、私たちの開発に反映させる機会を頂けることをお待ちしています。